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高效送風口，FFU，層流罩都是用在無塵室里面的設備，作用都是過濾空氣中的塵埃粒子，以達到生產制成對潔凈度的要求。
根據送風的方式，使用位置的不同，造成產品本身的結構也不一樣。高效送風口，分為送風箱及高效濾網，本身不具備動力，不能自己送風到無塵室。高效送風口，上面或側面，會有“入風口”，“入風口”經風管與MAU空調箱連接，風從空調送出，經風管送進送風箱，經高效濾網過濾，再送進無塵室。使用位置位于無塵室頂部，用于亂流型無塵室，成本相對較高。FFU的中文是“風機過濾單元”，分成兩部分，風機及高效濾網。相對高效送風口來說，FFU自帶電機，通過電機帶動葉輪達到送風的目的，使用位置位于無塵室頂部，用于層流型無塵室，成本相對較高。
層流罩，工作原理和FFU一樣，也通過電機帶動葉輪達到送風的目的。但是一般在現有無塵室無法滿足生產制成潔凈度要求或送風型式要求時（亂流改層流），(全部改造成本較高，只有滿足局部需求即可)，才采用的層流罩，已達到制成要求
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